에칭액 조성물, 다층막의 에칭 방법 및 표시장치 제조 방법

본 개시는 (A) 구리 이온 공급원, (B) 분자 내에 1 이상의 카르복시기를 갖는 유기산 이온 공급원, (C) 불소 이온 공급원, (D) 제 1 첨가제로서 에칭 조절제, 표면 산화력 증가제, 또는 이들의 조합, 및 (E) 제 2 첨가제로서 계면활성제를 포함하는 에칭액 조성물, 다층막의 에칭 방법, 및 표시장치의 제조 방법에 관한 것이다.