Composition pour enlever les résidus sur des grilles de connexions et procédé de nettoyage

L'invention concerne une composition pour enlever des residus sur des grilles de connexions qui contient un agent oxydant et un compose d'azole tout en ayant un pH dans la plage de 1 a 7. L'invention concerne egalement un procede de nettoyage d'une grille de connexions au cours duquel des residus sont enleves d'une grille de connexions apres une gravure a sec en utilisant une composition de ce type. En utilisant une telle composition d'enlevement de residus, les residus restant apres la gravure a sec provenant du vernis epargne ou de metaux peuvent etre enleves efficacement sans corroder le titane ou les alliages de titane tres sensibles a la corrosion lors de la production d'une grille de connexions. Par consequent, un dispositif semi-conducteur utilisant une grille de connexions contenant en particulier du titane ou un alliage de titane peut etre produit efficacement.