サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、および、サスペンション用基板の製造方法

2012 
【課題】インターリーブ配線の差動インピーダンスを、従来よりも低減化できるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、およびサスペンション用基板の製造方法を提供する。 【解決手段】ベース絶縁層12および配線4A,4B,4C,4Dの上に、前記配線を被覆する第1のカバー絶縁層14を形成した後に、前記第1のカバー絶縁層の上に、前記配線間の空間を埋める第2のカバー絶縁層15を形成する。 【選択図】図2
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