ガラスフィルムの表面処理方法、ガラスフィルム積層体、およびガラスフィルム

【課題】ガラスフィルムの表面に押圧痕や粘着剤を残すことなく、ガラスフィルムの取り扱いを向上させて、適正な位置決めをした状態でガラスフィルムの両面への表面処理を容易に行うことが可能な、ガラスフィルムの表面処理方法を提供する。【解決手段】ガラスフィルム１の一面に第１の無機薄膜１１を形成する成膜工程と、第１の無機薄膜１１が形成されたガラスフィルム１の一面を、ガラスフィルム１よりも厚い支持ガラス２の表面にオプティカルコンタクトにより密着させて、ガラスフィルム１と支持ガラス２とを積層する積層工程と、支持ガラス２に積層されたガラスフィルム１の他面に、第２の無機薄膜１２を形成する表面処理を施す表面処理工程とを備える、ガラスフィルム１の表面処理方法。【選択図】図５