Ortsempfindliche Gasdetektoren mit Mikrostreifenelektroden

1997 
Der Einsatz photolithographisch hergestellter Elektrodenstrukturen anstelle von Drahten in konventionellen ortsempfindlichen Gasdetektoren hat zu einer raschen Weiterentwicklung dieses Detektortyps gefuhrt. Mikrostreifen-Gasdetektoren (MSGC) werden in den Entwicklungslabors verschiedener wissenschaftlicher Disziplinen bereits eingesetzt. Der relativ einfache Fertigungsprozes und die robuste Konstruktion erlauben ihre industrielle Herstellung und Nutzung.
    • Correction
    • Source
    • Cite
    • Save
    • Machine Reading By IdeaReader
    5
    References
    1
    Citations
    NaN
    KQI
    []