A process for the production of porous microstructures produced by this method porous microstructures and their use

Ando Feyh,Franz Laermer,Tjalf Pirk,Ralf Reichenbach,Dick Scholten,Michael Stumber

A process for the production of porous microstructures produced by this method porous microstructures and their use

2008

Ando Feyh
Franz Laermer
Tjalf Pirk
Ralf Reichenbach
Dick Scholten
Michael Stumber

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung poroser Mikrostrukturen (8, 8') in einem Si-Halbleitersubstrat (1), nach diesem Verfahren hergestellte porose Mikrostrukturen (8, 8') sowie deren Verwendung.

Keywords:

Microstructure
Chemical engineering
Materials science
Porosity

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