Verfahren zur herstellung dünner, plättchenförmiger elemente mit planparallelen deckflächen und einer vorbestimmbaren dicke

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dunner, plattchenformiger Elemente mit planparallelen Deckflachen und einer vorbestimmbaren Dicke, welche durch Lappen oder Polieren zumindest einer der Deckflachen hergestellt werden. Erfindungsgemas ist vorgesehen, dass elektronisch inaktiven plattchenformigen Elementen zumindest ein piezoelektrisches Referenzelement mit einer fur die Anregung dessen Resonanzfrequenz ausreichend hohen elektromechanischen Kopplung zugesetzt wird, sowie dass die Resonanzfrequenz des Referenzelementes wahrend des Lapp- oder Poliervorganges bestimmt und von der Resonanzfrequenz des Referenzelementes auf die Dicke der plattchenformigen Elemente geschlossen wird.