Reactifs a base de complexes metalliques pour depot en phase gazeuse par procede chimique

Complexe organometallique de formule MAYX ou M est un metal a valence y; A est un ligand organique monodente ou multidente coordonne a M, ce qui permet de realiser la complexion de MAy avec X; y est un entier valant 2, 3 ou 4; chacun des ligands A peut etre le meme ou different; et X est un ligand monodente ou multidente coordonne a M et contenant un ou plusieurs atomes independamment choisis dans le groupe constitue d'atomes des elements C, N, H, S, O et F. Le metal M peut etre choisi dans le groupe constitue par Cu, Ba, Sr, La, Nd, Ce, Pr, Sm, Eu, Th, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Bi, Tl, Y, Pb, Ni, Pd, Pt, Al, Ga, In, Ag, Au, Co, Rh, Ir, Fe, Ru, Sn, Li, Na, K, Rb, Cs, Ca, Mg, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo et W. A peut etre choisi dans le groupe constitue de β-dicetonates et de leurs analogues soufres et azotes, de β-cetoesters et de leurs analogues soufres et azotes, de cyclopentadienyles, d'alkyles, de perfluoroalkyles, d'alcoxydes, de perfluoroalcoxydes et de bases de Schiff. X peut, par exemple, comporter un ligand tel que le tetraglyme, le tetrahydrofurane, la bipyridine, l'ether couronne ou le thioether.