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4H‐SiC MOSFETにおける単一発光欠陥の界面酸化プロセス依存性の共焦点顕微鏡評価
4H‐SiC MOSFETにおける単一発光欠陥の界面酸化プロセス依存性の共焦点顕微鏡評価
2016
abe yuuta
okamoto mituo
kosugi ryouzi
harada sinsuke
hatano mutuko
iwasaki takayuki
onoda nin
haruyama jou zen
kada wataru
hanaizumi osamu
oosima takesi
umeda kyou ei
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