金属回收方法、金属回收装置、排气系统及使用其的成膜装置

一种金属回收装置(66)，其从用由有机金属化合物原料形成的原料气体而在被处理体的表面上形成薄膜的处理容器(10)所排出的排气气体中回收金属成分，将排气气体进行除害。金属回收装置具有：捕集单元(80)，其具有捕集部件，所述捕集部件构成为，加热所述排气气体，使排气气体中含有的未反应的原料气体热分解，将原料气体中含有的金属成分附着；除害单元(82)，其具有氧化通过捕集单元的排气气体中含有的有害气体成分而进行除害的催化剂(100)。