Drucksensor und Verfahren zur Herstellung desselben

2007 
Ein Drucksensor zur Erfassung eines Drucks weist auf: eine metallische Membran (20) zum Aufnehmen des Drucks; vier eine Wheatstone-Brucke bildende Dehnungsmesseinrichtungen (22a bis 22d), wobei jede Dehnungsmesseinrichtung (22a bis 22d) ein elektrisches Signal ausgibt, welches einer Verformung der Membran (20) entspricht, wenn die Membran (20) durch den Druck verformt wird; und vier Halbleiterchips (21a bis 21d), welche den vier Dehnungsmesseinrichtungen (22a bis 22d) entsprechen, wobei jede Dehnungsmesseinrichtung (22a bis 22d) in dem Halbleiterchip (21a bis 21d) angeordnet ist. Jeder Halbleiterchip (21a bis 21d) ist auf der Membran (20) angebracht.
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