Drucksensor und Verfahren zur Herstellung desselben
2007
Ein
Drucksensor zur Erfassung eines Drucks weist auf: eine metallische
Membran (20) zum Aufnehmen des Drucks; vier eine Wheatstone-Brucke bildende
Dehnungsmesseinrichtungen (22a bis 22d), wobei jede Dehnungsmesseinrichtung
(22a bis 22d) ein elektrisches Signal ausgibt, welches einer Verformung
der Membran (20) entspricht, wenn die Membran (20) durch den Druck
verformt wird; und vier Halbleiterchips (21a bis 21d), welche den
vier Dehnungsmesseinrichtungen (22a bis 22d) entsprechen, wobei
jede Dehnungsmesseinrichtung (22a bis 22d) in dem Halbleiterchip
(21a bis 21d) angeordnet ist. Jeder Halbleiterchip (21a bis 21d)
ist auf der Membran (20) angebracht.
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI