Si含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマ中のイオンおよびラジカルの質量分析 (誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧/誘電・絶縁材料)