液中プラズマ発生方法、液中プラズマ発生装置、被処理液浄化装置及びイオン液体供給装置

【目的】液中に形成された気泡内にプラズマを発生させ、液中に活性イオン種を浸透拡散させる液中プラズマ発生方法及び液中プラズマ発生装置を提供する。 【構成】少なくとも一方が高電圧絶縁部６ｂと１つ以上の突出部を有する高電圧電極６からなる電極対を液体１４に浸漬し、この電極対間に高繰り返しの高電圧パルスを印加して前記高電圧電極６近傍の液体をジュール加熱するとともに連続的又は断続的に沸騰気化させ、この気化泡により前記高電圧電極６の突出部先端６ｃを少なくとも包囲する気化泡領域２８を形成し、前記高電圧パルス２６による前記気化泡内の高電圧絶縁破壊放電により前記気泡内の気化物を電離（プラズマ化）して各種イオンを形成し、このプラズマ中のイオン種を前記液体１４中に浸透拡散させることを特徴とする液中プラズマ発生方法及び液中プラズマ発生装置２である。 【選択図】 図１