스핀-온 카본 하드마스크용 중합체 및 이를 함유한 카본 하드마스크용 조성물

본 발명은 스핀-온 카본 하드마스크용 중합체 및 이를 함유한 카본 하드마스크용 조성물에 관한 것이다. 본 발명은 비스페닐페놀 플루오렌계 단량체를 함유하되, 특정의 중량평균분자량의 요건을 충족한 중합체, 더욱 바람직하게는 상기 비스페닐페놀 플루오렌계 단량체에, 부가 단량체 성분과 중합반응된 중합체로 이루어진 스핀-온 카본 하드마스크용 유기재료를 제공하고, 상기 비스페닐페놀 플루오렌(fluorene)계 중합체가 우수한 광학적 특성이 있고, 동시에 기판상에 스핀코팅으로 도포 가능하므로, 상기 조성물을 이용하여 포토리소그래피 공정 후 반도체 초미세 패터닝 공정이 가능하다.