多孔質シリカ前駆体組成物及びその作製方法、多孔質シリカ膜及びその形成方法、半導体素子、画像表示装置、並びに液晶表示装置

多孔質シリカ前駆体組成物が、化学式１：　Ｒ１ ｍ（Ｒ２－Ｏ）４－ｍＳｉ（式中、Ｒ１及びＲ２はアルキル基であって、同一であっても異なっていてもよく、ｍは０～３のいずれかの整数を示す）で表される有機シランと、水と、アルコールと、化学式２：　Ｒ３Ｎ（Ｒ４）３Ｘ（式中、Ｒ３及びＲ４はアルキル基であって、同一であっても異なっていてもよく、Ｘはハロゲン原子を示す）で表される第４級アンモニウム化合物とを含有してなり、これら成分を混合して作製される。多孔質シリカ前駆体組成物を塗布、焼成して多孔質シリカ膜を形成する。多孔質シリカ膜を有する半導体素子、画像表示素子、液晶表示素子。