蒸気発生装置、蒸着源、蒸着装置、蒸気発生方法

【課題】必要量の有機材料を正確に加熱蒸発させる。 【解決手段】蒸気発生装置２２は内側突部２２ａが回転軸３５の先端と対面するように配置されており、回転軸３５の先端は内側突部２２ａが放出する輻射熱で有機材料３９の蒸発温度以上に加熱されるから、有機材料３９の蒸気が回転軸３５の先端に析出しない。落下孔４８は内側突部２２ａと外周突部２２ｂの間の供給部２９上に位置するから、落下孔４８から落下する有機材料３９は外周突部２２ｂで堰き止められ、供給部２９から零れ落ちない。 【選択図】図３