ルテニウム化合物、その製造方法、それを用いたルテニウム含有薄膜製造方法及びルテニウム含有薄膜

本発明の課題は、類縁構造化合物を含有していてもルテニウム含有薄膜を製造することができる（２，４－ジメチルペンタジエニル）（エチルシクロペンタジエニル）ルテニウム、その製造方法、それを用いたルテニウム含有薄膜製造方法及びルテニウム含有薄膜等を提供することに係る。本発明は、類縁構造化合物を含有する（２，４－ジメチルペンタジエニル）（エチルシクロペンタジエニル）ルテニウムから、類縁構造化合物を分離することにより、５重量％以下の類縁構造化合物を含有する（２，４－ジメチルペンタジエニル）（エチルシクロペンタジエニル）ルテニウムを得て、それを原料として用いて薄膜を製造することに係る。