Verfahren zur herstellung von konusförmigen nanostrukturen auf substratoberflächen

Das erfindungsgemase Verfahren zur Herstellung von konusformigen Nanostrukturen auf Substratoberflachen, insbesondere in optischen Vorrichtungen, Solarzellen und Sensoren, umfasst mindestens die Schritte: a) Bereitstellen einer mit Nanopartikeln bedeckten Substratoberflache; b) Atzen der mit Nanopartikeln bedeckten Substratoberflache, wobei die Nanopartikel als Atzmaske wirken und die Atzparameter so eingestellt werden, dass unterhalb der Nanopartikel Hyberboloid-Strukturen entstehen, c) Brechen der Hyberboloid-Strukturen im Bereich des geringsten Durchmessers durch Ausubung mechanischer Krafte, wobei die auf der Substratoberflache verbleibenden Strukturen eine konusformige Gestalt aufweisen.