희가스 생산 장치

본 발명은 제1 가스가 유입되고, 제1 가스를 소정압력 범위로 압축 공급하는 압축부; 압축부로부터 토출된 제1 가스가 유입되고, 제1 가스로부터 할로겐 가스 및 할로겐 화합물이 흡착 반응에 의해 제거된 제2 가스를 토출하는 흡착부; 흡착부로부터 토출된 제2 가스가 유입되어, 제2 가스에 포함된 불순물을 흡착을 통해 제거하기 위한 저온부; 및 흡착부로부터 토출된 제2 가스에 포함된 수소를 산소와의 반응에 의해 제거하기 위한 촉매부; 를 포함하며, 흡착부를 통과한 제2 가스가 수소를 포함하면, 촉매부를 통과 한 후 저온부로 이송하고, 제2 가스가 수소를 포함하지 않으면 저온부로 이송되도록 마련된 희가스 생산 장치를 제공하고자 한다.