不同气氛下退火的ZnO/Bi3.25La0.75Ti3O12界面深度剖析（英文）

采用溶胶-凝胶法制备了Bi3.25La0.75Ti3O12（BLT）铁电薄膜,并分别于Ar、O2和空气中退火。同时,制备了BLT/ZnO（8nm）结构,并采用X射线光电子能谱深度剖析技术对界面的化学状态进行了分析。结果显示:BLT薄膜中的Bi扩散到了ZnO层中,ZnO层中的Zn也进入到BLT薄膜内部。同时,退火气氛中氧气的含量越多,Bi-O及Ti-O键将变得更为稳定。这一结果有助于对提升以半导体为沟道的铁电栅场效应晶体管的性能起到指导作用。