La simulation à l'échelle atomique des microtechnologies

Les differentes methodes de simulation a l'echelle atomique sont decrites et leurs places par rapport aux modeles classiques microscopiques et macroscopiques sont indiquees. L'interet des simulations a l'echelle atomique sur les deux plans pratique et fondamental, en tant que modele intermediaire, est souligne. L'apport des simulations a l'echelle atomique sur ces deux plans est illustre par deux exemples: la croissance des multicouches fines et la gravure chimique anisotrope. Quelques resultats sont presentes dans chaque cas