重合体、フォトレジスト、エポキシ硬化剤および塗料
2004
【課題】 感度、解像度が高いフォトレジスト、耐熱性および電気特性に優れる硬化物を得ることができるエポキシ硬化剤、各種基材への密着性、耐熱性、耐水性に優れる塗料、フォトレジスト用樹脂として有用な重合体を提供する。 【解決手段】 式(I)の構成単位を有する重合体を含有するフォトレジスト、エポキシ硬化剤、塗料(R 1 は水素原子またはメチル基、R 2 は炭素数1〜4のアルキル基、iは0〜4の整数を表す);および、式(II)の構成単位を有する重合体(R 3 は水素原子またはメチル基、R 4 は炭素数1〜4のアルキル基、R 5 は酸で脱離する保護基、jは0〜4の整数を表す)。 【化1】 【選択図】 なし
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI