多価フェノール化合物、化合物、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
2005
【課題】 レジスト組成物用として使用できる低分子量の化合物、該化合物の原料として好適な多価フェノール化合物、前記化合物を含有するポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法を提供する。 【解決手段】 例えば、下記式で表される多価フェノール化合物。 【選択図】 なし
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI