多価フェノール化合物、化合物、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法

2005 
【課題】 レジスト組成物用として使用できる低分子量の化合物、該化合物の原料として好適な多価フェノール化合物、前記化合物を含有するポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法を提供する。 【解決手段】 例えば、下記式で表される多価フェノール化合物。 【選択図】 なし
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