Obtention de nitrures de metaux refractaires par voie de chimisorption

La presente invention concerne des couches de nitrures de metaux refractaires destinees a la fabrication de circuits integres. Une telle couche de nitrure de metal refractaire peut s'obtenir sur un substrat par chimisorption sequentielle de monocouches prises en alternance d'un compose azote et d'un compose de metal refractaire. L'invention concerne egalement une couche composite de nitrures de metaux refractaires. Une telle couche composite de nitrures de metaux refractaires s'obtenir sur un substrat par chimisorption sequentielle de monocouches d'un compose azote et de plusieurs composes de nitrures de metaux refractaires.