FABRICACIÓN DE ESTÁNDARES DE CALIBRACIÓN PARA MICROSONDAS NUCLEARES

El Micro-haz de iones Pesados (MiP) del laboratorio Tandar constituye un instrumento de caracteristicas unicas enel pais, pues puede proveer haces de iones pesados de dimensiones micrometricas acelerados hasta decenas de MeVde energia. La busqueda de tamanos de haz mas pequenos ha creado la necesidad de contar con estandares decalibracion de elevada calidad de resolucion. En el presente trabajo se desarrollaron los primeros prototipos paracalibrar la focalizacion del haz: estructuras metalicas de cobre o niquel en forma de grilla con orificios cuadrados.Se emplearon dos metodos de fabricacion. En el primero se utilizaron tecnicas de fotolitografia convencional sobreun sustrato de silicio con foto-resina, mientras que en el segundo se utilizo el MiP para micro-mecanizar sustratosde Niobato de Litio (LiNbO3). En ambos casos se finalizo el proceso de fabricacion del patron con electrodeposicionde cobre o niquel sobre la matriz desarrollada. Mediante la tecnica fotolitografica se fabricaron grillasde niquel que varian entre 130 y 180 mesh**. Mediante micro-mecanizado con el MiP se fabricaron grillas de cobrede entre 500 y 2000 mesh sobre sustratos de LiNbO3.