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1.1.2 - Entwicklung eines piezoresistiven Drucksensors für Hochtemperaturanwendungen auf Basis eines SOI-Substrats
1.1.2 - Entwicklung eines piezoresistiven Drucksensors für Hochtemperaturanwendungen auf Basis eines SOI-Substrats
2016
Andreas Goehlich
Andreas Jupe
Martin Stühlmeyer
Yusuf Celik
Andrei Schmidt
Holger Vogt
Keywords:
Silicon on insulator
Electronic engineering
Materials science
Optoelectronics
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