Method and apparatus for manufacturing magnetron

本发明磁控管的制作方法包括：第一种混合气体生成过程，通过将含有氮气和氢气的第一种运载气体混入一种没有致癌作用的液态碳氢化合物中生成第一种混合气体；第二种混合气体生成过程，通过将含有氮气和氢气的第二种运载气体混入第一种混合气体中生成第二种混合气体；碳化物生成反应过程，通过对置于第二种混合气体中的阴极进行加热，使阴极表面形成金属碳化物层。 及这样的磁控管制作设备。