温度制御方法、温度制御装置、熱処理装置およびプログラム

【課題】ガラス基板２を、連続炉３で所望の温度プロファイルに従って熱処理するための各炉３ １ 〜３ ３ の設定温度の調整作業を容易に行えるようにする。 【解決手段】各炉３ １ 〜３ ３ の設定温度を変化させたときの連続炉３における各観測点でのガラス基板２の温度変化を、モデルを用いて行列として推定し、この行列の逆行列を用いてガラス基板２の温度が前記各観測点で所望の温度プロファイルの温度になるように、補正値を算出し、この算出値によって、設定温度を補正する。 【選択図】図３