Membrane de capteur de pression à mems capacitif et procédé de formation de capteur de pression à mems capacitif

La presente invention, selon un mode de realisation, concerne un capteur de pression a systeme micro-electromecanique (MEMS) capacitif comprenant une couche de base, une couche d'oxyde inferieure supportee par la couche de base, une couche de contact s'etendant a l'interieur de la couche d'oxyde inferieure, une couche de membrane disposee globalement au-dessus de la couche d'oxyde inferieure, la couche de membrane comprenant au moins une saillie s'etendant vers le bas a travers une partie de la couche d'oxyde inferieure et en contact avec la couche de contact, une couche de nitrure s'etendant partiellement au-dessus de la couche de membrane, une couche d'oxyde superieure disposee au-dessus de la couche de nitrure, une couche de plaque arriere supportee directement par la couche de membrane et disposee au-dessus de la couche d'oxyde superieure, une partie gravee de cote avant faisant apparaitre une premiere partie de la couche de membrane a travers la couche d'oxyde superieure et la couche de nitrure, et une partie gravee de cote arriere s'etendant a travers la couche de base, la partie gravee de cote arriere etant au moins partiellement alignee avec la partie gravee de cote avant.