플라즈마의 전자 에너지 분포 함수 진단 방법 및 모니터링 방법

본 발명은 플라즈마의 전자 에너지 분포 함수 진단 방법 및 모니터링 방법으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마의 EEDF 진단 방법은, 플라즈마의 전자 에너지 분포 함수(EEDF)를 진단하는 방법으로서, (a) 대상 플라즈마의 EEDF 함수식을 선정하는 단계; (b) 여기 분광 물성의 특성을 기반으로 하는 파장 선택과 빛 방출 모델을 설립하는 단계; 및 (c) 상기 설립된 빛 방출 모델에 기초하여 상기 EEDF를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.