固体撮像素子レンズ用感光性樹脂組成物、これを用いた固体撮像素子レンズ及び固体撮像素子レンズの形成方法、並びに固体撮像素子

【課題】 高い自由度で、且つ、光学設計通りの形状を有する固体撮像素子レンズを作製することが可能な固体撮像素子レンズ用感光性樹脂組成物を提供する。 また、上記感光性樹脂組成物を用いた固体撮像素子レンズ及び上記固体撮像素子レンズ用感光性樹脂組成物を用いて固体撮像素子レンズを製造する方法、並びに該固体撮像素子レンズを備えた固体撮像素子を提供する。 【解決手段】 マイクロレンズを形成する際の露光波長では解像しない微細なパターンの分布状態により露光する際の透過光量分布を制御するフォトマスクを用いたマイクロレンズの形成方法において使用する、固体撮像素子レンズ用感光性樹脂組成物であって、 残膜率飽和露光量を前記フォトマスクを介して感光性樹脂組成物に照射、現像した時のマスク開口率と残膜率の関係において、マスク開口率が２０％から８０％の範囲で最小２乗法により直線近似した時のＲ 2 が０．９５０〜１．０００の範囲であることを特徴とする固体撮像素子レンズ用感光性樹脂組成物。 【選択図】 なし