ДВУХЗЕРКАЛЬНЫЙ ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ НАНОЛИТОГРАФА НА = 13.5 НМ

С. Ю. Зуев,А. Е. Пестов,Н.Н. Салащенко,А С Скрыль,И.Л. Струля,Л А Суслов,М. Н. Торопов,Н И Чхало

ДВУХЗЕРКАЛЬНЫЙ ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ НАНОЛИТОГРАФА НА = 13.5 НМ

2011

С. Ю. Зуев
А. Е. Пестов
Н.Н. Салащенко
А С Скрыль
И.Л. Струля
Л А Суслов
М. Н. Торопов
Н И Чхало

В работе описывается проекционный объектив, состоящий из двух асферических зеркал, для стенда нанолитографа с рабочей длиной волны = 13.5 нм. Значительное внимание уделяется методам аттестации формы поверхности зеркал и аберраций объектива с субнанометровой точностью.

Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader

References

Citations