薄膜トランジスタ装置およびその製造方法、並びに、それを使用した薄膜トランジスタアレイおよび薄膜トランジスタディスプレイ

【課題】大きなオン電流と小さなオフ電流を有する、良好な特性の薄膜トランジスタ装置をフォトリソの回数を減らし、安価に提供する。 さらに、この薄膜トランジスタ装置を使用した薄膜トランジスタアレイ及び画像の安定し軽量で薄い薄膜トランジスタディスプレイを提供する 【解決手段】絶縁基板に対して垂直方向から見て、ソース電極をほぼ孤立島パターンにし、ドレイン電極がそれを囲み、ゲート電極がそれらの間隙を包含する構造とすることにより、ゲート電位によりソース電極およびドレイン電極間のオフ電流を小さくすることができる。 【選択図】図１