Film conducteur transparent et procédé de production de ce dernier

2007 
L'invention concerne un film conducteur transparent presentant une conductivite electrique et des proprietes de gravure excellentes. L'invention concerne egalement un procede de production du film conducteur transparent. Le film conducteur transparent contient du Zn, du Sn et de l'O, le rapport molaire de Zn sur la somme totale de Zn et de Sn (Zn/(Zn+Sn)) etant compris entre 0,41 et 0,55. Le film conducteur transparent est amorphe. Le procede comprend les etapes consistant a amincir par arrachement ionique un corps fritte (une cible) dans une atmosphere de gaz inerte, le corps fritte contenant du Zn, du Sn et de l'O et le rapport molaire du Zn sur la somme totale de Zn et de Sn (Zn/(Zn+Sn)) dans le corps fritte etant compris entre 0,53 et 0, 65.
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