Boite de distribution de gaz

Cette invention se rapporte a une boite de distribution de gaz, qui est concue pour etre utilisee avec un outil servant a fabriquer des semi-conducteurs, cette boite comprenant un corps collecteur monobloc ayant une admission destinee a recevoir un gaz de traitement. Ce corps collecteur possede au moins une paroi laterale s'etendant dans la direction generale d'ecoulement du gaz. Cette paroi laterale comprend au moins un site a dispositif actif sur lequel est place un dispositif actif. Ce dispositif actif se trouve en communication fluidique avec une conduite de gaz formee dans le collecteur monobloc. Ce dispositif actif peut etre une valve manuelle, une valve pneumatique, un regulateur de pression, un transducteur de pression, un epurateur, un filtre ou un controleur de flux. Le gaz est recu depuis le dispositif actif dans le prolongement du trajet d'ecoulement du gaz dans le corps collecteur et il est transporte jusqu'a une sortie du collecteur pour aboutir a l'outil.