圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、液体移送装置及び液体移送装置の製造方法

【課題】圧電層の厚さのばらつきを電極の幅により補正することが可能な液体移送装置の圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法等を提供すること。 【解決手段】圧電層３１の厚さを測定し、測定された圧電層３１の厚さの、予め設定された圧電層３１の基準厚さに対するずれ量に基づいて、個別電極３２の幅を決定し、決定された幅の個別電極３２を、圧電層３１の圧力室１４と反対側に形成することにより、圧電層３１の厚さのばらつきを個別電極３２の幅で容易に補正することができる。 【選択図】図８