A process for producing a synthetic quartz glass cylinder

Ein bekanntes Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas umfasst die Verfahrensschritte: (a) Bildung eines zylinderformigen SiO 2 -Sootkorpers, der einen Innenbereich und mindestens eine den Innenbereich umgebende freie Zylindermantelflache aufweist, (b) thermisches Trocknen des porosen Sootkorpers und (c) Verglasen des getrockneten Sootkorpers unter Bildung des Zylinders aus synthetischem Quarzglas. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, das eine besonders flache radiale Verteilung im Innenbereich des Zylinders ermoglicht, wird erfindungsgemas vorgeschlagen, dass der nach Verfahrensschritt (b) vorliegende, getrocknete SiO 2 -Sootkorper vor dem Verglasen einem Homogenisierungsverfahren unterzogen wird, das folgende Homogenisierungsschritte umfasst: (I) Erhitzen des Sootkorpers auf eine Verdichtungstemperatur, um im Bereich des Zylindermantels eine Versiegelungsschicht zu erzeugen, die den Innenbereich nach ausen abdichtet, (II) Abkuhlen des Sootkorpers von der Verdichtungstemperatur und (III) Tempern des Sootkorpers im Bereich einer Homogenisierungstemperatur, derart, dass sich das radiale Profil der Hydroxylgruppen-Konzentration im Innenbereich abflacht.