Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
Формирование углеродных слоев методом термического разложения четыреххлористого углерода в реакторе МОС-гидридной эпитаксии
Формирование углеродных слоев методом термического разложения четыреххлористого углерода в реакторе МОС-гидридной эпитаксии
2020
Б.Н. Звонков
О.В. Вихрова
Ю. А. Данилов
М.В. Дорохин
П. Б. Демина
М.Н. Дроздов
А. В. Здоровейщев
Р.Н. Крюков
А.В. Нежданов
И. Н. Антонов
С. М. Планкина
М П Темирязева
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]