A method for increasing the removal rate of oxide using a fixed abrasive

Verfahren zum Reduzieren der Dicke einer Oxidschicht (40) auf einem Substrat (20) durch chemisch-mechanisches Polieren mit einem fixierten Schleifmittel, wobei das Verfahren folgendes umfast: a) Bereitstellen eines Substrats (20) mit einer Oxidschicht (40) auf einer ersten Oberflache, b) Bereitstellen eines wasrigen flussigen Mediums, das eine erste Schleifmittelkomponente und einen Polyelektrolyten enthalt und einen pH-Wert von etwa 5–13 aufweist, c) Kontaktieren der Oxidschicht (40) des Substrats mit dem wasrigen flussigen Medium und mit einem Polierglied, wobei das Polierglied eine Komponente mit einem fixierten Schleifmittel darin enthalt, und d) Beibehalten des Kontakts von Schritt c) unter gleichzeitiger Bereitstellung einer Bewegung zwischen dem Substrat (20) und dem Polierglied, wodurch die Dicke der Oxidschicht (40) reduziert wird.