座標測定精度較正方法、座標測定精度評価方法、プログラムおよびマスク

【課題】座標測定器の誤差を簡易に把握することができ、正確な較正を行うことができる座標測定精度較正方法および当該較正方法を実施するプログラムを提供する。 【解決手段】被測定体に形成された複数のマークの絶対位置を座標測定器により測定し（ステップＳＴ３）、マーク間の相対位置を重ね合わせ精度測定器により測定する（ステップＳＴ４）。ステップＳＴ３で測定されたマークの絶対位置に基づいて、マーク間の相対位置を求める。そして、重ね合わせ精度測定器により測定されたマーク間の相対位置の実測値と、マークの絶対位置に基づいて算出されたマーク間の相対位置の算出値との間の整合性を判定し（ステップＳＴ６）、整合性がないと判断される場合に、座標測定器を較正する（ステップＳＴ７）。 【選択図】図１