AlN 기판의 수동 소자 특성

본 논문에서는 열전도도가 우수한 AlN 기판에 CO₂ Laser 장비를 이용하여 Thru-hole과 scribing line을 형성하기 위해 CO₂ laser의 파라미터(촛점 거리, 공기량, 레이저 빔 시간, 펄스 개수)를 실험하고, 자체 정렬 마스킹 기법을 이용한 5 ㎛ 두께의 Cu 도금으로 AlN 기판에 전송 선로와 나선형 평면 인덕터를 제작하였다. AlN 기판에서의 마이크로스트립 라인의 전송 손실은 10 ㎓에서 0.1 ㏈/㎜, 6 nH 나선형 평면 인덕터는 1 ㎓에서 56의 품질 계수를 얻었고, 이를 통해 열전도도가 우수한 AlN 기판의 고전력 RF 응용이 가능할 것으로 기대한다.