Temperature compensation method in the sensor, calculation program of the temperature compensation method, processing unit, and the sensor

【課題】キャビティー内の気体の温度による圧力変化（キャビティー内に封止されている気体の熱膨張）に起因したダイアフラムの変形を相殺し、対象とする温度範囲でダイアフラムの変形を抑制することにより、最適な温度補償を行うことのできる、センサにおける温度補償方法、該温度補償方法の演算プログラム、該演算プログラムを演算処理する演算処理装置、及び、センサを得る。 【解決手段】本発明の静電容量型センサにおける温度補償方法は、静電容量の変化量ΔＣ'を求める演算工程Ｓ１７を含む各演算工程を実行することによって、密閉空間内の気体の温度による圧力変化（密閉空間内に封止されている気体の熱膨張）に起因したダイアフラム部の変形の補償程度を判断可能なパラメータΔＣ'を得る。 【選択図】図５