Thermal mass flow meters and thermal type mass flow controller

この発明は、全体構造簡単かつ小型、安価に構成し得るものでありながら、本体ブロックをどのような姿勢に設置して用いる場合でも、サーマルサイフォン現象の影響による測定誤差を低減して流量測定精度の向上を図れるようにしたサーマル式質量流量計及びサーマル式質量流量制御装置を提供するものである。 この発明は、本体ブロック内部の流体流路及び流量測定用導管内を大気圧以下の圧力に引いたときの測定値とその導管に実流体を封入したときの測定値との差及び実流体の種類、実流体封入時の圧力並びに流体流路と流量測定用導管との流量比から補正値を算出し記憶し、この補正値で実測出力値を補正することにより、サーマルサイフォン現象による測定誤差をキャンセルするように動作する補正演算処理用ＣＰＵを具備している。