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Acemap > Paper > 面内振動中のMEMS(マイクロ電気機械システム)共振器のための各種の支持部損失モデルのレビューと比較

面内振動中のMEMS(マイクロ電気機械システム)共振器のための各種の支持部損失モデルのレビューと比較

2012 
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