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面内振動中のMEMS(マイクロ電気機械システム)共振器のための各種の支持部損失モデルのレビューと比較
面内振動中のMEMS(マイクロ電気機械システム)共振器のための各種の支持部損失モデルのレビューと比較
2012
Chouvion B
Mcwilliam S
Popov A A
Fox C H J
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