CoFeHfO 박막의 자기적 특성

??RF magnetron reactive sputtering법으로 CoFeHfO 박막을 상온에서 제작하여 산소분압에 따른 포화자화, 보자력, 이방성자계를 조사하였다. 최적조건인 산소분압 8 %에서 제조한 Co 39 Fe 34 Hf 9.5 O 17.5 박막은 포화자속밀도(4πM s ) 19 kG, 보자력(Hc) 0.37 Oe, 이방성자계(H k ) 48.62 Oe의 우수한 연자성을 나타내었다. CoFeHfO 박막의 전기비저항은 산소분압이 늘어남에 따라 증가하는 경향을 나타내었으며 우수한 연자기적 성질을 가지는 Co 39 Fe 34 Hf 9.5 O 17.5 박막의 경우, 300 μΩcm의 높은 전기비저항과 48.62 Oe의 높은 이방성자계 때문에??Co 39 Fe 34 Hf 9.5 O 17.5 박막이 고주파에서 우수한 연자기 특성을 가지는 것으로 사료된다.