Mise en œuvre de deux méthodes interférométriques pour la caractérisation mécanique des films minces par l'essai de gonflement. Applications au cas du silicium monocristallin

Deux methodes optiques sont presentees, interferometrie holographique en temps reel et methode par projection de franges, appliquees a la caracterisation mecanique des films minces. Ces deux methodes sont couplees a l'interferometrie par mesure de phase, ce qui permet d'acceder au champ des deplacements en tous points de la membrane. Les solutions retenues sont discutees en termes de precision et de sensibilite. Nous proposons l'application de ces methodes a l'essai de gonflement de membrane, essai largement repandu dans les etudes de micro-mecaniques. Les mesures sont effectuees sur du silicium monocristallin et les resultats sont compares aux solutions calculees par elements finis. Le bon accord entre theorie et experiences valide les methodes et les dispositifs developpes.