有機薄膜パターニング用基板およびその製造方法、有機電界発光素子およびその製造方法、並びに有機el表示装置および有機el照明

2008 
【課題】プロセス的に簡便で生産コスト的にも有利な自己撥インク性のバンクを用いても、バンク以外の領域に撥インク性を有するレジスト材料の成分などの残渣が残りにくい有機薄膜パターニング用基板の製造方法を提供する。 【解決手段】基板上にバンクおよびバンクによって区画された領域を有し、バンクによって区画された領域内に有機薄膜を形成するために用いられる有機薄膜パターニング用基板の製造方法。基板11上に、直接または他の層を介して、親水性化合物含有組成物を塗布して下引き層12を設け、この下引き層12上に、撥インク性成分を含有する感光性組成物を塗布してバンク用レジスト層13を設け、バンク用レジスト層13を、露光および現像することによりバンク14を形成する。この現像過程において、非画像部の下引き層12が、非画像部のバンク用レジスト層13とともに除去される。 【選択図】図1
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