Systeme d'imagerie dote d'un reseau de sources multiples

L'invention concerne un dispositif faisceau de particules chargees. Ce dispositif comprend un reseau emetteur (22) destine a emettre une pluralite de faisceaux de particules chargees (8). Cette pluralite de faisceaux est imagee au moyen d'une lentille (12). Une unite electrode (14) permet d'accelerer la pluralite de faisceaux de particules chargees. Les differences de potentiel entre un premier potentiel du reseau emetteur, un deuxieme potentiel de l'unite electrode et un troisieme potentiel d'un echantillon sont commandees par une premiere unite de commande (11) et une deuxieme unite de commande. Le deuxieme potentiel peut ainsi accelerer la pluralite de faisceaux de particules chargees par rapport au premier potentiel, et le troisieme potentiel peut ralentir la pluralite de faisceaux de particules chargees par rapport au deuxieme potentiel.