지르코늄 박막 형성용 전구체 조성물 및 이를 이용한 지르코늄 박막의 형성 방법

반도체 소자의 제조에 있어서, 지르코늄을 함유하는 박막을 형성할 수 있는 전구체 조성물 및 이를 이용한 지르코늄 박막의 형성 방법이 개시된다. 상기 지르코늄 박막 형성용 전구체 조성물은, 하기 화학식 1로 표시되는 지르코늄 전구체 화합물; 및 상기 지르코늄 전구체 화합물과 균일하게 혼합되는 유기 화합물을 포함한다. [화학식 1] 상기 화학식 1에서, R 1 은 탄소수 1 내지 4의 선형 또는 분지형 알킬기이고, R 2 및 R 3 는 각각 독립적으로, 탄소수 1 내지 6의 선형 또는 분지형 알킬기이다.