Моделирование времени до пробоя пористого диэлектрика в системе металлизации интегральных схем современного топологического уровня
2021
В работе выполняется имитационное моделирование процессов диффузии ионов металлического барьера в low-k диэлектрик между двумя медными линиями.
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI